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尽量减小静电（是一种处于静止状态的电荷的产生 这是控制静电三部曲的第一步，在这净化工作环境中，最好的措施：
1、尽量采用性质相似器材，减少摩擦过程中产生的静电电荷；
2、尽量采用导静电（是一种处于静止状态的电荷）型或静电耗材型材料的器材，减少接触摩擦分离过程中产生积累静电荷；
3、尽量采用减少接触摩擦分离而产生静电荷的生产流程。
泄放和中和 这是控制静电三部曲的第二步，在微电子生产的净化室中最通常的措施（指针对问题的解决办法)是接地，采用导电性或耗散性材料泄放静电荷，以及离子化消电器和静电荷。
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